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真空废气一般可采用冷凝和洗涤吸收两种方法来处理. 如果真空废气是挥发性的则采用冷凝除目方式收集;如果是可溶于水的则可采用水洗吸收的方式来收集. 单一真空泵可以设置冷凝、缓冲、液封工艺;如果多台真空泵则可以做成系统,采用洗涤塔集中处理.