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硅片是什么材料做的
发布时间:2021-07-31 浏览次数:22次发布人:方军荷
硅是一种化学元素,它的化学符号是si,旧称矽。原子序数14,相对原子质量28.09,有无定形和晶体两种同素异形体,同素异形体有无定形硅和结晶硅。属于元素周期表上iva族的类金属元素。
高纯度硅在石英中提取,以单晶硅为例,提炼要经过以下过程:石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。
冶金级硅的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。这样被还原出来的硅的纯度约98-99,但半导体工业用硅还必须进行高度提纯。电子级硅的杂质含量约10(-10)以下。而在提纯过程中,有一项“三氯氢硅还原法(西门子法)”的关键技术我国还没有掌握,由于没有这项技术,我国在提炼过程中70以上的多晶硅都通过氯气排放了,不仅提炼成本高,而且环境污染非常严重。